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外壳由不锈钢制成,内里衬以耐火砖和石墨材料?
最关键的,是三根直径50厘米的石墨电极,它们通过特制的电极夹,与炉壁绝缘。
当巨大的电流通过时,电弧在电极之间劈啪作响,产生远超2000摄氏度的高温。
在这个"人造太阳"的炙烤下,混合好的石英砂和焦炭,被缓缓倒入炉内。
随着温度不断攀升,熔融的二氧化硅开始还原,逐渐析出单质硅。
在炉膛的下方,还设有出铁口和出渣口,以便及时排出熔融的硅液和渣液。
接下来,还需要经过2-3次的电弧炉熔炼,才能去除绝大部分的杂质,获得98%以上的冶金级硅。
李阳站在电弧炉前,满脸兴奋地看着这个"庞然巨物"。
它的每一寸金属,每一粒螺丝,都凝结着他的心血。
从图纸设计,到零部件采购,甚至是最后的安装调试,都是他亲力亲为。
当电极头缓缓降下,炽白的电弧在炉膛内跳动时,李阳几乎热泪盈眶。
他知道,这是新炎国芯片工业的第一缕曙光,也是他实现梦想的开端!
工人师傅们也被眼前这个"高科技产物"震撼到了。
"真是太不可思议了!这玩意儿,真能炼出硅来?"
"我的天!这温度,都赶上太阳表面了吧?那得多少度啊?"
"李工,您可真是我们的福星!有您在,咱们的电子工业,还愁不腾飞?"面对大家的啧啧称奇,李阳谦虚地笑笑,继续忙活着。
在接下来的提纯环节,他又陆续制造了气相沉积炉,多晶硅铸锭炉等设备。
这些都是将冶金级粗硅进一步提纯至电子级的关键。
气相沉积炉能在1000多度的高温下,利用氢气,四氯化硅等物料,将硅沉积在特制的硅芯棒上,制得纯度高达99。9999%的多晶硅。
而多晶硅铸锭炉,则可将这些多晶硅再次熔化,定向凝固,最终长成直径达到8英寸,纯度高达99。%的单晶硅棒。
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如此高纯度的硅材料,才堪称芯片制造的"良材美料"。
就这样,在李阳的悉心操作下,一炉炉高纯硅料被源源不断地炼制出来。
每当那银光熠熠,晶莹剔透的硅锭从炉膛中升起时,总能引来阵阵惊呼。
大家伙儿争先恐后地围上去,啧啧称奇那犹如宝石般璀璨夺目的硅晶体,简直就像是来自未来的科技结晶!
而更令人振奋的是,造芯设备的组装,也已进入了最后阶段!
在李阳的带领下,联合技术中心的同志们开始了芯片设备的组装工作。
这可是一项极其复杂和精密的工程,需要许多不同领域的技术人员密切配合
李阳将众人分成了几个小组,每个组负责一类设备的组装
光刻机小组由李阳亲自挂帅,作为制程中最关键的设备,它对装配精度和洁净度的要求极高。
李阳和几名机械技师穿上洁净服,戴上手套和口罩,小心翼翼地走进装配间。
只见几个大木箱整齐地码放着,里面装着制造光刻机所需的所有零部件。
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